一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導電膠。
1、壓接：采用壓條，一般為了提高接觸的良好性，會增加石墨紙、Pb或In皮。
2、釬焊：釬料常用In、Sn、In-Sn，一般在使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/cm2。我公司采用銦焊綁定技術。
3、導電膠：采用的導電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05μm。
二、綁定的適用范圍
技術上來說表面平整可進行金屬化處理的靶材都可以用我公司銦焊綁定技術綁定銅背靶來提高濺射過程中的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材：
ITO，SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結靶材；
錫、銦等軟金屬靶
靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端：
1、熔點低的靶材，像銦、錫等，金屬話的時候可能會變軟變形；
2、貴金屬材料，一是實際重量易出現分歧，二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料，建議墊一片銅片。
三、背靶的選擇
對材質的要求：一般選用無氧銅和鉬靶，厚度在3mm左右
導電性好：常用無氧銅，無氧銅的導熱性比紫銅好，我公司綁定背靶一般采用無氧銅
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